REM615 损害了最终的零件精度和可用的公差高分辨率玻璃光掩模工具制造成本低廉，并且非常容易适应。此外，玻璃工具的成本不会随着零件的复杂程度而显著增加，这对于钢制工具来说当然是不可能的。此外，玻璃加工不会磨损，也不会给被加工的金属带来变形和应力，并且生产出完全平坦的零件。在许多情况下，通过PCE，在工具制造商按下制造钢制工具的按钮之前，一个零件就已经批量生产了，这可能需要几个月的时间才能完成。
 
Kern继续说道，“这种液体蚀刻和玻璃加工的结合为蚀刻过程提供了极其精确的控制，实现了其他方法如冲压、激光加工或传统PCE无法实现的配置、特征和公差。三维特征实际上可以蚀刻到材料本身的厚度中，并且可以实现低至+/-0.005毫米的尺寸公差。传统的PCE使用相对较厚的干膜抗蚀剂，这损害了最终的零件精度和可用的公差，并且它只能实现100微米的最小特征尺寸，并且当与材料厚度相比时，最小的孔直径是1-2倍。
 
光化学蚀刻非常适合需要在薄材料上制作超高精度金属元件的应用。它可以产生独特的物理特征，独特的表面纹理，识别特征，其特点是零件与零件之间的高度一致性和具有竞争力的成本。

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